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日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计

  • 型   号:S48 32/HMT
  • 类   别:
  • 价   格:¥面议
  • 产   地:

日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的控制
良好的选择性
化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口

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产品详细介绍

日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计

 

  日本HORIBA METRON气体质量流量控制器流量计

编号 项目 S48 32/HMT
1 流量规格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 安装角度 任意
5 流量控制范围 2%~100%
6 流量测量范围 0~100%
7 响应时间 2s(T98,设定值的±2% F.S.)
8 工作环境温度 5℃~50℃
9 精度保证温度 15℃~35℃
10 精度 ±1.0%F.S.
11 线性精度 ±0.5%F.S.
12 重复性 ±0.2%F.S.
13 工作压差 ~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)
14 耐压 3MPa
15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He)
16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶
17 管路接头 Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18 供电电源 ±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA +24VDC(宽电压+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供电时)
19 设定信号 (0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
20 流量输出信号 (0~5)VDC 负载能力≤3mA
21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9
22 重量(kg) 0.9

 

S48 32/HMT 安装尺寸图:


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